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三維光學(xué)輪廓儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):zeta-20
  • 更新時(shí)間:2024-11-26

簡(jiǎn)要描述:zeta 三維光學(xué)輪廓儀:的三維成像和測(cè)量,多功能光學(xué)測(cè)試模組,多樣化的測(cè)試平臺(tái)(手動(dòng)、自動(dòng)測(cè)試臺(tái))Z*的3D成像及測(cè)試系統(tǒng) (為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備,是表面量測(cè)領(lǐng)域的Z佳選擇 )。

產(chǎn)品詳情

型號(hào):Zeta-20
產(chǎn)品:三維光學(xué)輪廓儀

品牌:Zeta澤塔

簡(jiǎn)介:zui*的3D成像及測(cè)試系統(tǒng) (為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備,是表面量測(cè)領(lǐng)域的*選擇 )


三維光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)


◆ 功能齊全,操作簡(jiǎn)易,用途廣泛的Zeta-20

 ZDotTM技術(shù)擅于對(duì)高粗糙度、低反射率的表面進(jìn)行成像分析

·具有防反射涂層的太陽能電池片
·圖形化/蝕刻的LED基板
·生物微機(jī)電、微機(jī)電系統(tǒng)和微流體槽
·透明的多表面樣品成像

快速獲取數(shù)據(jù)

·可配置快于10秒掃一幅三維圖像的采集速度
·簡(jiǎn)明易學(xué)的軟件操作界面

 強(qiáng)大的三維分析功能

·臺(tái)階高度、粗糙度、面積、體積、角度及其它表面屬性
·數(shù)據(jù)輸出格式與常見的第三方分析軟件可兼容
◆ 高度的靈活性

測(cè)量復(fù)雜的表面特征

從深槽到金剛石鋼線,Zeta-20強(qiáng)大的成像能力可對(duì)各種復(fù)雜表面進(jìn)行測(cè)量。通常這些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而無法用其它設(shè)備測(cè)量。

選項(xiàng)配置齊全

在科研過程中所涉及的樣品表面類型往往難以預(yù)測(cè)。因此,Zeta-20使用模塊化設(shè)計(jì)理念,為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項(xiàng)來滿足各種不同的測(cè)量需求。
·薄膜厚度光譜儀
·可測(cè)量納米級(jí)粗糙度的QDIC/Nomarski選項(xiàng)
·iX5干涉物鏡
·Z軸分辨率高達(dá)2nm的壓電陶瓷載臺(tái)
·傾斜載臺(tái)和真空吸附卡具
·自動(dòng)特征提取和測(cè)量軟件
·自動(dòng)表面面積測(cè)量、統(tǒng)計(jì)分析 ...以及其它眾多選項(xiàng)!



◆  特定行業(yè)的測(cè)量應(yīng)用

太陽能電池片表面分析:

·自動(dòng)測(cè)量柵線的高度、寬度和體積
·單晶硅和多晶硅表面面積和絨面分析
·氮化硅防反射層薄膜厚度測(cè)量
·多點(diǎn)、自動(dòng)?xùn)啪€測(cè)量
·156mm太陽能電池片真空吸附載臺(tái)
LED 和圖形化藍(lán)寶石基板(PSS)分析
·自動(dòng)測(cè)量PSS高度、尺寸和周期
·分析光阻和蝕刻后PSS特征
·自動(dòng)定位和測(cè)量外延后Mesa的粗糙度
·適用于2"、4"和6"晶圓的真空載臺(tái)
微流體和微機(jī)電的測(cè)量分析
·透明的多層表面輪廓測(cè)量
·深槽、深井以及其它高縱深比的特征點(diǎn)測(cè)量
·靈活的、可自定義的橫截面及測(cè)量點(diǎn)的設(shè)置
簡(jiǎn)便、易用的測(cè)量方法
·自動(dòng)載物臺(tái)支持多點(diǎn)測(cè)量序列和三維圖像拼接
·自動(dòng)坡度和波度補(bǔ)償
·自動(dòng)將待測(cè)表面調(diào)成水平
·自動(dòng)測(cè)量高度、尺寸、角度、面積和體積
·自動(dòng)測(cè)量線粗糙度和面粗糙度



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